В условиях высокопроизводительной обработки зубчатых передач на станках с ЧПУ, для решения проблемы низкой точности обработки, вызванной сочетанием различных погрешностей станка, разработана математическая модель высокопроизводительной обработки внутренних цилиндрических зубчатых передач на основе принципа зацепления пространственно переплетенных косозубых шестерен. Путем сравнения уравнения поверхности зуба, включающего погрешности, с теоретическим уравнением поверхности зуба, получен закон изменения погрешностей параметров регулировки станка и нормального отклонения всего профиля зуба. Путем установления корреляционной функции между погрешностями параметров регулировки станка и отклонением профиля зуба предложен метод компенсации погрешностей, основанный на построении матрицы коэффициентов чувствительности погрешностей профиля зуба. Работоспособность предложенного метода проверена на примере расчета обработки внутренней цилиндрической зубчатой передачи методом зачистки. Результаты показывают, что отклонение профиля зуба, вызванное погрешностями параметров регулировки станка, компенсируется и корректируется с высокой точностью, эффективно повышая точность обработки при высокопроизводительной зачистке.